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掃描電子顯微鏡的應用越來越廣泛

 更新時間:2020-07-19 點擊量:1697
  掃描電子顯微鏡廣泛用于材料科學(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學、醫(yī)學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害(火災、失效分析)鑒定、寶石鑒定、工業(yè)生產中的產品質量鑒定及生產工藝控制等。
  顯微鏡在材料科學、金屬材料、陶瓷材料半導體材料、化學材料等領域,進行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實時微區(qū)成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測量,晶體/晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。
  其工作原理為:在高真空的鏡筒中,由電子槍產生的電子束經(jīng)電子會聚透鏡聚焦成細束后,在樣品表面逐點進行掃描轟擊,產生一系列電子信息(二次電子、背反射電子、透射電子、吸收電子等),由探測器將各種電子信號接收后經(jīng)電子放大器放大后輸入由顯像管柵極控制的顯像管。
  聚焦電子束對樣品表面掃描時,由于樣品不同部位表面的物理、化學性質、表面電位、所含元素成分及凹凸形貌不同,致使電子束激發(fā)出的電子信息各不相同,導致顯像管的電子束強度也隨著不斷變化,在顯像管熒光屏上可以獲得一幅與樣品表面結構相對應的圖像。根據(jù)探測器接收的電子信號的不同,掃描電子顯微鏡可分別獲得樣品的背散射電子圖像、二次電子圖像、吸收電子圖像等。

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