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Gentle Mill 離子精修儀--用于制備高質(zhì)量 TEM/FIB 樣品的離子束工作站

Technoorg Gentle Mill 離子精修儀產(chǎn)品專為最終拋光、精修和改善 FIB 處理后的樣品而設計。 Gentle Mill 型號非常適合要求樣品無加工痕跡、表面幾乎沒有任何損壞的 XTEM、HRTEM 或 STEM 的用戶。 同時，Gentle Mill 還適用于快速減薄凹坑或超薄平面 (< 25 μm) 以及機械拋光樣品。

產(chǎn)品特色：

1. 快速、可靠地精修和處理 TEM 和 FIB 樣品

2.  帶有預編程的設置，可進行自動化操作

3. 可應用于工業(yè)環(huán)境中

4. 直接匹配日立 FIB-STEM/TEM 系統(tǒng) 3D 樣品臺

性能參數(shù)

低能離子槍（固定型）

• 離子能量：100 - 2000 eV，連續(xù)可調(diào)

• 離子電流密度：最大 10 mA/cm2

•  離子束流：7 - 80 μA，連續(xù)可調(diào)

•  離子束直徑：750 - 1200 μm (FWHM)電控優(yōu)化的工作氣流

• 在 2000 eV 離子能量和 30° 入射角下，c-Si 的研磨速率為 28 μm/h

樣品臺

• 切削角度：0° - 40°，每 0.1° 連續(xù)可調(diào)

• 可進行計算機控制的平面內(nèi)樣品旋轉(zhuǎn)和擺動（從 ±10° 到±120°，每 10° 連續(xù)可調(diào)）

• 可適用的 TEM 樣品的厚度范圍 (30 -200 μm)

樣品處理

• 用于快速樣品交換的真空鎖系統(tǒng)

• 全機械、無膠裝載

• 專為 XTEM 樣品設計的鈦夾和封裝技術

真空系統(tǒng)

Pfeiffer 真空系統(tǒng)配備無油隔膜和渦輪分子泵，配備緊湊的全范圍 Pirani/Penning 真空計

供氣系統(tǒng)

• 99.999% 純氬氣，絕對壓力為 1.3 - 1.7 bar

• 帶有電子出口壓力監(jiān)測功能的惰性氣體專用壓力調(diào)節(jié)器

• 工作氣體流量高精準控制

成像系統(tǒng)

• 用于全視覺控制和切削監(jiān)控/終止的 CMOS 相機圖像

• 高分辨率彩色 CMOS 相機

• 50 - 400 倍放大范圍的手動變焦視頻鏡頭

電腦控制

•  內(nèi)置工業(yè)級計算機

• 簡單便捷的圖形界面和圖像分析模塊

• 通過鼠標點擊或拖動輕松控制所有重要參數(shù)

• 高度自動化的操作機制，最大限度地減少人工干預

電源要求

100 - 120 V/3.0 A/60 Hz 或 220 - 240 V/1.5 A/50 Hz ? 單相

應用案例

01. Gentle Mill 對在各種 FIB 制備的樣品進行低能量 Ar+ 氬離子研磨顯著降低了受損的非晶表面層的厚度。可以實現(xiàn)對 65 nm 節(jié)點半導體器件進行原子級結構分析。